新加坡——路透社獲悉,在深圳一個高度戒備的實驗室中,中國科學家已建造出華盛頓多年來試圖阻止的設備:一台能夠生產尖端半導體晶片的機器原型,這些晶片為人工智慧、智慧型手機以及西方軍事優勢核心武器提供動力。
該原型機於2025年初完成,目前正在進行測試,幾乎佔據了整個工廠樓層。據兩名知情人士透露,它由荷蘭半導體巨頭ASML的前工程師團隊建造,他們逆向工程了該公司的極紫外光刻機或EUV。
EUV機器處於科技冷戰的核心。它們使用極紫外光束在矽晶圓上蝕刻比人類頭髮細數千倍的電路,這是目前西方壟斷的能力。電路越小,晶片越強大。
據知情人士稱,中國的機器已可運作並成功產生極紫外光,但尚未生產出可工作的晶片。
今年4月,ASML執行長Christophe Fouquet表示,中國需要「許多許多年」才能開發出此類技術。但路透社首次報導的這一原型機的存在表明,中國實現半導體獨立的時間可能比分析師預期的要早數年。
儘管如此,中國仍面臨重大技術挑戰,特別是在複製西方供應商生產的精密光學系統方面。
據兩名知情人士稱,二手市場上可獲得的舊ASML機器零件使中國能夠建造國產原型機,政府設定的目標是到2028年在原型機上生產可工作的晶片。
但接近該項目的人士表示,更現實的目標是2030年,這仍比分析師認為中國需要十年時間才能在晶片領域趕上西方的預測早了數年。
中國當局未回應置評請求。
這一突破標誌著中國政府為實現半導體自給自足而進行的六年計劃的高潮,這是習近平主席的最高優先事項之一。據知情人士稱,雖然中國的半導體目標已公開,但深圳EUV項目一直秘密進行。
該項目屬於中國的半導體戰略,據官方媒體報導,該戰略由習近平親信丁薛祥負責,他領導共產黨中央科學技術委員會。
據兩名知情人士和第三名消息來源稱,中國電子巨頭華為在協調全國各地涉及數千名工程師的公司和國家研究機構網絡方面發揮著關鍵作用。
知情人士將其描述為中國版的曼哈頓計劃,即美國戰時開發原子彈的努力。
「目標是讓中國最終能夠在完全由中國製造的機器上製造先進晶片,」一名知情人士說。「中國希望將美國100%踢出其供應鏈。」
華為、中國國務院、中國駐華盛頓大使館以及中國工業和信息化部均未回應置評請求。
到目前為止,只有一家公司掌握了EUV技術:總部位於荷蘭費爾德霍芬的ASML。其機器價格約為2.5億美元,對於製造由Nvidia和AMD等公司設計的最先進晶片——以及由TSMC、Intel和Samsung等晶片製造商生產——不可或缺。
ASML於2001年建造了第一台EUV技術工作原型機,並告訴路透社,在2019年生產出首批商用晶片之前,花費了近二十年時間和數十億歐元的研發支出。
「公司想要複製我們的技術是合理的,但這樣做絕非易事,」ASML在一份聲明中告訴路透社。
ASML的EUV系統目前可供美國盟友使用,包括台灣、韓國和日本。
從2018年開始,美國開始施壓荷蘭,阻止ASML向中國出售EUV系統。2022年限制擴大,當時拜登政府實施了全面的出口管制,旨在切斷中國獲得先進半導體技術的途徑。ASML告訴路透社,從未向中國客戶出售過EUV系統。
管制不僅針對EUV系統,還針對生產華為等較不先進晶片的舊型深紫外光(DUV)光刻機,旨在使中國在晶片製造能力方面至少落後一代。
美國國務院表示,川普政府已加強對先進半導體製造設備出口管制的執法,並正在與合作夥伴合作「隨著技術進步封堵漏洞」。
荷蘭國防部表示,荷蘭正在制定政策,要求「知識機構」進行人員篩查,以防止「有不良意圖或有被施壓風險的個人」接觸敏感技術。
據兩名知情人士和第三人稱,出口限制多年來減緩了中國實現半導體自給自足的進程,並限制了華為的先進晶片生產。
由於項目的機密性,消息來源在不被識別身份的條件下發言。
據一名熟悉其招募情況的人士稱,一名被招募到該項目的ASML資深中國工程師驚訝地發現,他豐厚的簽約獎金附帶了一張以假名簽發的身份證。
該人士說,進入內部後,他認出了其他也在使用化名工作的前ASML同事,並被指示在工作中使用他們的假名以保持保密性。另一人獨立證實,招募人員獲得了假身份證,以向安全設施內的其他工作人員隱藏其身份。
兩名知情人士稱,指示很明確:根據國家安全分類,院區外的任何人都不能知道他們在建造什麼——或者他們根本就在那裡。
知情人士稱,該團隊包括最近退休的、出生於中國的前ASML工程師和科學家——他們是主要招募目標,因為他們擁有敏感的技術知識,但在離開公司後面臨的職業限制較少。
兩名在荷蘭的ASML現任中國籍員工告訴路透社,至少從2020年起,他們就被華為的招募人員接觸過。
華為未回應置評請求。
歐洲隱私法限制了ASML追蹤前員工的能力。儘管員工簽署了保密協議,但跨境執行這些協議已被證明很困難。
據法庭文件顯示,ASML於2019年贏得了對一名被指控竊取商業機密的前中國工程師8.45億美元的判決,但被告申請破產,並在中國政府支持下繼續在北京營運。
ASML告訴路透社,它「警惕地保護」商業機密和機密信息。
該公司表示:「雖然ASML無法控制或限制前員工的工作地點,但所有員工都受合約中保密條款的約束,」並且「已成功採取法律行動,回應商業機密盜竊。」
路透社無法確定是否對參與中國光刻計劃的前ASML員工採取了任何法律行動。
該公司表示,它通過確保即使在公司內部也只有選定的員工才能訪問信息來保護EUV知識。
荷蘭情報部門在4月的一份報告中警告說,中國「利用廣泛的間諜計劃試圖從西方國家獲得先進技術和知識」,包括招募「西方科學家和高科技公司員工」。
知情人士稱,ASML資深人員使深圳的突破成為可能。如果沒有他們對技術的深入了解,逆向工程機器幾乎是不可能的。
據路透社對政府政策文件的審查,他們的招募是中國於2019年啟動的針對海外半導體專家的積極行動的一部分,提供300萬至500萬元人民幣(42萬至70萬美元)起的簽約獎金和購房補貼。
據專利申請顯示,招募人員包括ASML前光源技術主管林楠,其在中國科學院上海光學研究所的團隊在18個月內提交了八項關於EUV光源的專利。
上海光學精密機械研究所未回應置評請求。林楠無法聯繫置評。
另外兩名熟悉中國招募工作的人士表示,一些其他國家的歸化公民獲得了中國護照,並被允許保持雙重國籍。
中國正式禁止雙重國籍,並未回答有關簽發護照的問題。
中國當局未回應置評請求。
ASML最先進的EUV系統大約有校車大小,重180噸。據兩名知情人士稱,在複製其尺寸的嘗試失敗後,深圳實驗室內的原型機變得大了許多倍以提高其功率。
知情人士稱,與ASML的機器相比,中國的原型機較為粗糙,但足以進行測試。
兩名知情人士稱,中國的原型機落後於ASML的機器,主要是因為研究人員難以獲得德國Carl Zeiss AG等光學系統,Carl Zeiss AG是ASML的主要供應商之一。
Zeiss拒絕置評。
據Zeiss網站稱,這些機器每秒向熔融錫發射激光50,000次,產生200,000攝氏度的等離子體。光線使用需要數月才能生產的鏡子聚焦。
據兩名知情人士稱,中國頂級研究機構在開發國產替代品方面發揮了關鍵作用。
一名知情人士稱,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所(CIOMP)在將極紫外光整合到原型機光學系統方面取得了突破,使其能夠在2025年初投入運作,儘管光學系統仍需大幅改進。
CIOMP未回應置評請求。
該研究所在其網站上的3月在線招募公告中表示,它向博士光刻研究人員提供「無上限」薪資,以及價值高達400萬元人民幣(56萬美元)的研究撥款,外加100萬元人民幣(14萬美元)的個人補貼。
研究公司SemiAnalysis的分析師、前ASML工程師Jeff Koch表示,如果「光源有足夠的功率、可靠且不會產生太多污染」,中國將取得「有意義的進展」。
他說:「毫無疑問,這在技術上是可行的,只是時間問題。中國的優勢在於商用EUV現在已經存在,所以他們並非從零開始。」
兩名知情人士稱,為了獲得所需的零件,中國正在從舊ASML機器中回收組件,並通過二手市場從ASML供應商處採購零件。
知情人士稱,有時會使用中間公司網絡來掩蓋最終買家。
一名知情人士和另一名消息來源稱,原型機正在使用日本Nikon和Canon的出口限制組件。
Nikon拒絕置評。Canon表示不知道此類報導。日本駐華盛頓大使館未回應置評請求。
消息來源稱,國際銀行定期拍賣舊的半導體製造設備。據阿里巴巴拍賣(阿里巴巴旗下平台)上的列表審查,截至2025年10月,中國的拍賣還在出售舊的ASML光刻設備。
據知情人士稱,一個由大約100名應屆大學畢業生組成的團隊專注於逆向工程EUV和DUV光刻機的組件。
每個工作人員的辦公桌都由單獨的攝像頭拍攝,以記錄他們拆卸和重新組裝零件的努力——知情人士將這項工作描述為中國光刻工作的關鍵。
知情人士稱,成功重新組裝組件的員工會獲得獎金。
據四名熟悉華為營運的人士稱,雖然EUV項目由中國政府管理,但華為參與了供應鏈的每一步,從晶片設計和製造設備到製造以及最終整合到智慧型手機等產品中。
據一名知情人士稱,執行長任正非向中國高層領導人簡報進展情況。
美國於2019年將華為列入實體清單,禁止美國公司在沒有許可證的情況下與其開展業務。
據知情人士稱,華為已將員工部署到全國各地的辦公室、製造工廠和研究中心以推進這項工作。分配到半導體團隊的員工通常在現場睡覺,並在工作週期間被禁止回家,處理更敏感任務的團隊的電話訪問受到限制。
在華為內部,很少有員工知道這項工作的範圍。「團隊之間相互隔離,以保護項目的機密性,」一名知情人士說。「他們不知道其他團隊在做什麼。」– Rappler.com


